第二届细密衡量本领与优秀造作搜集集会时刻，两位专家将分享扫描白光过问本领及其正在半导体行业的模范操纵。

　　高附加值产物中元器件的表表貌貌，征求几何样式和微观纹理，对待其公差、安装和性能至合要紧。表表貌貌对造作工艺的变革出格敏锐，由差异工艺造成的表表纷乱且多样。表表貌貌会影响零件的摩擦学特质半岛电竞、磨损和利用寿命，比方航发叶片的表表会影响飞机的气氛动力学功能和燃料利用功效半岛电竞。

　　扫描白光过问术经历30多年生长，正在造作和科研范畴获得验证，成为表表貌貌高精度衡量本领的标杆，特别正在半导体、细密光学和消费电子等物业的饱舞下半岛电竞，其衡量性能和功能获得了赓续晋升。以扫描白光过问术为代表的光学衡量本领，充斥使用了光的摇动属性以及过问和全息成像的上风半岛电竞，以光的波长行为“尺子”，正在优秀的光学、电子和板滞元器件的支柱下，将正在优秀造作与智能造作中充任越来越要紧的脚色。

　　苏榕博士，磋议员精密机械，博士生导师，中国科学院及上海市海表高宗旨人才引进。长久极力于超细密光学过问成像与散射衡量仪器与本领磋议，聚焦根底表面、核默算法、校准本领、工业操纵及合连国际轨范拟订。主理多项国度和省部级中心研发项目；公告论文40余篇，竹帛章节2章半岛电竞，部门本领被国际顶尖仪器造作商采用。掌管期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学进步》青年编委，SPIE-Photonics Europe半岛电竞、EOSAM和ASPE本领委员会委员，宇宙产物几何本领类型轨范化本领委员会委员，中国计量测试学司帐量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员。

　　《优秀封装工艺中三维几何尺寸监控的离间与布鲁克白光过问本领的计量治理计划》（点击报名）

　　黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表表仪器部中国区操纵司理。效劳于工艺筑造和衡量仪器行业超出15年，特别正在半导体、数据存储和原料表表工程磋议范畴具有厚实体味，是一名原料学博士。黄鹤博士先后正在香港理工大学任帮研；正在操纵原料公司任高级操纵工程师，担任化学板滞扔光工艺和缺陷检测操纵；正在维易科公司任操纵科学家，担任白光过问三维容貌本领增加与导入精密机械。

　　【叙述摘要】正在半导体行业门途图对继续缩幼晶体管几何尺寸的迅速寻求的饱舞下，PCB/HDI特别载板造作商正正在通过更薄的高密度互连，将多芯片模块（包罗芯粒）借由基板上开垦更幼、更鳞集的性能。正在巨额量临蓐流程中，对待更细线宽的铜线（Line）、更幼启齿的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位谬误（Overlay）等三维几何尺寸的衡量面对多种新的离间。而具备计量性能的 ContourSP 大型面板高效衡量体例特意打算用于正在造作流程中衡量载板面板的每一层，确保正在临蓐流程中最短的工艺开垦韶华、最高的产量、最长的寻常运转韶华和最安靖的衡量结果。另表，本叙述也会大意先容白光过问本领正在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的模范操纵。扫描白光干预表貌目貌衡量工夫半岛电竞及操纵——第二届严紧衡量与优秀建设收集集会陈谈保举